簡易探針臺光電測試
產品優(yōu)勢
1.滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等
2.可用于6英寸以內樣品測試
3.同軸絲杠傳動結構，終線性移動
4.可放置于手套箱內使用
參數規(guī)格
型號：Huace-M4 Huace-M6
臺體
尺寸：4英寸 6英寸
水平旋轉：可360°旋轉，可微調15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程：2英寸*3英寸
X-Y移動精度：10μm
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺：左右各一個針座平臺，至多可放置6個探針座
背電極測試：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率：16X - 200X
移動行程：水平方向繞立柱360°旋轉，Z軸50.8mm
光源：外置LED無級調節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD：200萬像素/ 500萬像素/ 1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm
移動精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
探針夾具
線纜：同軸線/三軸線
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC /三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
探針
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm
材質：鎢鋼/鈹銅
外形尺寸：400mm長*380mm寬*500mm高
重量：約20kg
可選附件（根據客戶要求定制）：
加熱臺
顯示器
轉接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
光學平臺
鍍金卡盤
光電測試配件
應用領域
半導體器件研發(fā)
光電子與顯示技術
工業(yè)與工程應用
